FLS 106 IC
4-Achsen Positioniersystem
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FLS 106 mit ICR Mikrosonde
Kurzbeschreibung
Der IC-Scanner FLS 106 IC ist ein 4-Achsen Positioniersystem zum Bewegen von Nahfeldmikrosonden in vier Achsen und zum Drehen der Nahfeldmikrosonden über einem DUT.
Technische Parameter
| Versorgung | 110 V / 230 V |
| Schnittstelle | USB |
| Achsen x, y, z; α | |
| Max. Verfahrweg | (400 x 600 x 120) mm; α-Rotation ±180° |
| Min. Verfahrweg | (20 x 20 x 20) µm; α-Rotation 1° |
| Verfahrgeschwindigkeit | (20 x 25 x 10) mm/s; α-Rotation 90°/s |
| Gewicht | 75 kg |
| Maße (L x B x H) | (1030 x 775 x 990) mm |