Die RFS-E 05 ist eine passive Nahfeldsonde. Sie besitzt den gleichen prinzipiellen Aufbau wie die Sonden RFS-E 02 und RFS-E 10. Gegenüber der RFS-E 02 wird E-Feld aus sehr kleinen Bereichen erfasst. Die RFS-E 05 ermöglicht die genauere Ursache des elektrischen Störfeldes aufzufinden. Zur Messung wird die E-Feldsonde über die Bauelemente oder Bereiche der Flachbaugruppe geführt bzw. aufgesetzt. Die E-Feldscannersonde hat eine Mantelstromdämpfung und ihre Oberseite ist elektrisch geschirmt. Sie wird an einen Spektrumanalysator oder ein Oszilloskop mit 50 Ω Eingang angeschlossen. Die E-Feldsonde besitzt intern keinen 50 Ω Abschlusswiderstand.