FLS 106 IC set
四轴定位IC扫描仪
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FLS 106 with ICR microprobe
Short description
FLS 106型IC扫描仪可以在电子组件的集成电路上方，借助ICR-近场微探头对频率在6GHz以内的高频磁场或电场进行高分辨率（50-100µm）测量。
使用近场探头和带有SH 01探头支架的场源
使用ICR-探头（旋转单元）
工作状态下对集成电路的采样
四轴定位系统
可提供一个扫描台
GND/CB 和附件随后交付
顾客进行测试时用到的其他附件在协商后也包含在供货范围内。
Delivery content
- 1x FLS 106 IC
- 1x CS-Scanner, ChipScan-Scanner 软件
- 1x GND 25, 接地板
- 1x DM-CAM
- 1x Rotary unit
- 1x DM-CAM holder.3, SMA
- 1x FLS 106 IC acc
Technical parameters
| 电源电压 | 110 V / 230 V |
| 接口 | USB |
| x,y,z 轴 | |
| 最大过程路径 | (400 x 600 x 120) mm; α-Rotation ±180° |
| 最小过程路径 | (20 x 20 x 20) µm; α-Rotation 1° |
| 移动速度 | (20 x 25 x 10) mm/s; α-Rotation 90°/s |
| 重量 | 75 kg |
| 尺寸 (L x W x H) | (1030 x 775 x 900) mm |
Delivery content details
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FLS 106 IC
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CS-Scanner
ChipScan-Scanner 软件
ChipScan-Scanner 软件用于自动测量电子组件的近电场和近磁场。该软件可以在电子组件上方的某一平面或某一空间范围内进行检测，可以显示测量结果，从而精确快速的评估近场，并对测量结果进行多种处理和分析；它还能方便地输出图像和数据，例如文档或进一步的数学分析。
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GND 25
接地板
对集成电路进行电磁兼容性检测时，GND25接地板可以确保样品的射频兼容性接触。它由表面镀金的钢材组成。其上的槽口（103x103）mm预留给接地适配器（GNDA 01-04）或横向电磁场单元（100x100）mm，供装夹使用。
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DM-CAM